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LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

2014-2015 (vague A)

Type de rapport
Rapport d’évaluation d’une entité de recherche
Campagne d'évaluation
2014-2015 (vague A)
Date de publication
2015-05-29
Etablissement(s)
Centre national de la recherche scientifique - CNRS, Université Joseph Fourier - Grenoble - UJF
Domaine scientifique
Sciences pour l'ingénieur
Physique
Discipline
ST Sciences et technologies
ST5 Sciences pour l'ingénieur
ST2 Physique
Nom des équipes de l'unité
Advanced Lithography
Micro Nano Technologies for Health
Nanomaterials and Integration
Plasma processes for Nanoelectronics and emerging devices
Mots-clés
Langue de rédaction du rapport
Français

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